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De banheiros a batatas fritas – os chucks eletrostáticos de Toto estão se tornando um elemento crucial dos fabulos modernos

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A Toto é conhecida principalmente por seus banheiros avançados e cerâmica sanitária. No entanto, a experiência da empresa em produção de cerâmica também pode ser aplicada à fabricação de semicondutores. Desde a década de 1980, a Toto tornou indispensáveis ​​os mandatos eletrostáticos (e-chucks) na fabricação moderna de semicondutores. Segundo a Nikkei, os lucros operacionais desses produtos devem exceder US $ 100 milhões este ano.

Na fabricação contemporânea de semicondutores, os chucks eletrostáticos (ESCs) mantêm com segurança uma bolacha de silício (ou outro substrato) no local usando forças eletrostáticas em vez de aperto mecânico ou métodos baseados em vácuo. O ESC é um componente essencial em muitas etapas da produção de chips, incluindo etapas de litografia de EUV, gravura plasmática, deposição de vapor químico (DCV), deposição de vapor físico (PVD) e outras etapas que requerem posicionamento preciso da bolacha e contaminação mínima.

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