A Rapidus planeja instalar até 10 ferramentas de litografia EUV em seus próximos Fabs no Japão, relata a Trendforce, citando Nikkan Kogyo Shimbun. As ferramentas serão usadas para a produção em massa de chips na tecnologia de processo de classe de 2 nm a partir de 2027.
A Rapidus planeja instalar 10 máquinas de litografia EUV em suas instalações de produção de semicondutores IIM-1 e IIM-2, de acordo com Atsuyoshi Koike, o diretor executivo, que conversou com Nikkan. Em dezembro de 2024, o primeiro equipamento de litografia da EUV para o Japão chegou ao aeroporto de New Chitose, marcando um marco importante no desenvolvimento de Rapidus e o renascimento da indústria de semicondutores japoneses.
Atsuyoshi Koike não divulgou o cronograma em que a empresa instalará suas ferramentas EUV, mas é lógico esperar que alguns sistemas de litografia de ponta sejam instalados no IIM-1 nos próximos dois anos, com o conjunto restante a ser instalado no IIM-2 mais tarde.
A empresa também não divulgou quais máquinas vai usar, mas como está instalando o Twinscan NXE da ASML: 3800E, é provável que use essas ferramentas no IIM-1. Um scanner NXE: 3800E Twinscan pode processar até 220 bolachas por hora na dose de 30mj/cm^2, ou 5280 bolachas por 24 horas, assumindo que está disponível o tempo todo, o que geralmente não acontece conforme as ferramentas exigem serviço.
É difícil estimar a capacidade de produção real do IIM-2 do Rapidus com base no número de ferramentas instaladas. A 3Nm, o número total de camadas de máscara pode pousar na faixa de 100 a 120+, dependendo da complexidade do design. Deles, 20 a 25 são camadas EUV (embora isso varia de acordo com a fundição e o design). Supondo que a tecnologia de processo de 2 nm da Rapidus tenha 20 camadas EUV, depois com cinco ferramentas EUV (com tempo de atividade decente), a fundição pode suportar aproximadamente 17.000 a 20.000 bolas por mês no IIM-1. Obviamente, essa é uma estimativa muito difícil, e há muitas partes móveis aqui, por isso deve ser tomada com um grão de sal.
A empresa pretende iniciar a produção de 2NM em uma linha piloto IIM-1 em abril de 2025. Em junho de 2025, Rapidus supostamente pretende fornecer amostras de chip de 2 nm à Broadcom, um dos principais desenvolvedores de contratos de IA e processadores de comunicação que trabalham com empresas como Google e Google e Meta. O Rapidus pretende iniciar a produção em massa de produtos de 2 nm no IIM-1 em 2027. A instalação do IIM-2 ficará on-line mais tarde.